氦质谱检漏仪里有检漏仪专用分子泵机械泵或者干泵定制检漏仪专用电磁阀内置标准漏口放大器采用质谱专用模块。

氮氢检漏和氦气检漏、卤素检漏及水泡法或压降法检漏的原理类似,均是在被检工件内部充注高压气体,只是充注的气体不同。

氦质谱检漏仪主要是进行气密性检漏的,检真空设备、电子元器件等。

氦质谱检漏仪的工作原理是在电子的轰击下会产生带电粒子,带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力,而在磁场的作用下将做圆周运动。

最小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s漏率显示范围:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s启动时间:≤5min响应时间:检漏口最高压力:300Pa极限真空:5×10-4Pa外.最。